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更新时间：2025-08-06
厂商性质：经销商
访 问 量 ：73
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瑞士VAT61.6 - 高真空蝶形控制和隔离阀
61.6 HV控制蝶阀提供出色的压力控制和隔离性能。凭借其快速而精确的动作控制器（0.45秒），它是CVD工艺中精细控制和隔离的解决方案。蝶板作为一个节流元件，改变了阀口的传导性。61.6的集成压力控制器计算出所需的板块位置，以尽可能快地达到设定的压力。
61.6系列的隔离功能是专门为避免蝶阀的较高的密封磨损而设计的。通过它的中心外板轴以及阀体和密封座的特殊几何形状，密封摩擦降到低，密封性能得到提高。
61.6系列已经安装在数以千计的各种工艺条件下的苛刻应用中，已经证明了其出色的可靠性。61.6系列具有坚固的设计和直接安装选项，以及减少和方便的维护，在所有方面都表现优异。
本体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、密封材料、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定PI下流/软泵）方面的各种设计选项简化了61.6系列与各种真空应用的整合。
61.6 HV控制蝶阀有硬质阳极氧化铝或不锈钢材质，并配有ISO-KF和ISO-F标准法兰接头?？梢约煽突Фㄖ频姆ɡ迹约疤厥夤δ?，如集成加热器与绝缘。可根据要求提供FFKM/FKM弹性体（FKM为标准）。
特点:
压力控制和隔离
运行非?？?/span>
板载软件，用于本地运行
恶劣工艺条件下可实现可靠运行
优势:
工艺可控性更好
正常运行时间长/性能不受限
运行成本低
瑞士VAT61.6 - 高真空蝶形控制和隔离阀
| 尺寸 | DN 40 ("), DN 50 (2"), DN 63 ("), DN 80 (3"), DN 100 (4") | |
|---|---|---|
| 驱动器 | 带有步进电机的集成控制器， 面向现场的控制(foc) | |
| 阀体材料 | 硬质阳极氧化铝或不锈钢 | |
| 标准法兰 | ISO-KF, ISO-F | |
| 泄漏率：阀体 | 硬质阳极氧化铝 不锈钢 | < 1 × 10-5 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 泄漏率：阀座 | 硬质阳极氧化铝 不锈钢 | < 1 × 10-4 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 压力范围 | 硬质阳极氧化铝 不锈钢 | < 1 × 10-6 mbar 至 1.2 bar (abs) < 1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs) |
| 维护前开关次数1) | 压力控制 隔离 | 200 万次 25 万次 (DN 40-50) 10 万次 (DN 63-100) |
| 温度 | 阀体 控制器 | ≤ 120 °C 最大 50℃（建议 ≤35℃） |
| 材料 | 铝阀体/阀板 不锈钢阀体/轴 | EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L (1.4404 或 1.4435) |
| 密封 | 阀板 馈通件 | 氟橡胶 氟橡胶 |
| 馈通件 | 旋转馈通件 | |
| 安装位置 | 阀座侧朝向舱室 |
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