瑞士VAT真空阀-真空多阀装置

瑞士VAT是真空阀门制造商，专注于高精度真空阀的设计与生产，产品广泛应用于半导体、光伏、平板显示、科研等领域，以高可靠性、长寿命和密封性能著称。

1. 公司背景

瑞士VAT是真空阀门制造商，专注于高精度真空阀的设计与生产，产品广泛应用于半导体、光伏、平板显示、科研等领域，以高可靠性、长寿命和密封性能著称。

2. 核心产品系列

(1) 单阀产品

• 系列型号：

• 角阀（如VAT 54系列）：适用于高真空（HV）和超高真空（UHV）环境。

• 直通阀（如VAT 47系列）：低流阻设计，适合快速抽真空。

• 闸阀（如VAT 19系列）：金属密封，耐高温（可达450°C），用于半导体工艺腔室。

• 调节阀：精确控制气体流量，用于工艺压力调节。

• 技术参数：

• 泄漏率：<10?? mbar·l/s（金属密封）。

• 材质：不锈钢、铝合金，表面镀镍或电解抛光。

• 驱动方式：气动、电动或手动。

(2) 多阀装置（Multi-Valve Systems）

• 设计特点：

• 集成多个阀门（如隔离阀、旁抽阀、主泵阀）于单一模块，简化真空系统布局。

• ?？榛杓疲С侄ㄖ苹楹希ㄈ鏥AT Lockfast®系列）。

• 快速响应（开关时间可低至50ms）。

• 典型应用：

• 半导体刻蚀/沉积设备的多腔室隔离。

• 光伏镀膜系统的真空路径切换。

3. 核心技术优势

• 密封技术：

• 金属密封（无弹性材料）适用于高温和腐蚀性环境。

• 弹性密封（如氟橡胶）用于经济型应用。

• 驱动系统：

• 气动执行器标配防爆设计，电动执行器支持PLC控制。

• 智能控制：

• 支持PROFINET、EtherCAT等工业协议，实时监控阀门状态。

4. 典型应用领域

• 半导体制造：晶圆传输腔室、刻蚀设备。

• 光伏产业：PECVD、ALD设备的真空隔离。

• 科研装置：同步辐射光源、粒子加速器。

• 工业真空：镀膜机、热处理设备。

5. 选型参考

• 关键参数：

• 通径尺寸（DN16至DN400）。

• 压力范围（从大气压到10?1? mbar）。

• 兼容气体（腐蚀性/惰性气体）。

• 认证标准：

• SEMI F47（半导体设备抗电压波动标准）。

• CE/UL认证。

6. 服务与支持

• 提供定制化设计、快速交付及全球技术支持。

• 在线配置工具（如VAT Configurator）辅助选型。

瑞士VAT真空阀-真空多阀装置